技术原理为：低温等离子废气处理设备中的介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。VOCs 与这些具有较高能量的活性基团发生反应，部分会被裂解，最终转化为二氧化碳和水等物质，从而达到净化废气的目的。9 Z5 L- A( `/ x: ? K$ ~
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国内生产的运用低温等离子体技术的治污设备，制造环保公司对设备的除污参数，基本上都会提到这类设备的除污效率达到80%以上。例如低能量的等离子体设备可用于治理油烟机油烟污染，但是在实际处理工业VOCs过程中，这种低温等离子体技术设备对VOCs的降解会生成副产物污染，VOCs 的易燃性令& X* ?( m" h( q L4 Q
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其安全性将备受关注。# ]9 p* K0 d2 S- L; b; k5 {
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（1）生成副产物6 S# f/ j- c+ D' ]# k% L0 W' V+ r
. Y J, v$ A( d# ~: j" Z现在采用等离子体技术的处理VOCs 存在的问题是，等离子体对VOCs 是可以部分降解的，如对简单的VOCs 烷烃类、胺类物质，可以部分降解，但是对有机污染物甚至空气的激发是没选择性的，且在短短零点几到1 秒内的时间对VOCs 的降解是不完全的，还会产生一氧化碳、臭氧与氮氧化物等污染气体，生成的大量中间产物，可能挥发性、迁移性、毒性更强，危害更大。生产等离子体的厂家对原理剖析中，通常会指出臭氧能够与VOCs 一起发生反应，生成无害的气体。但是实际检测结果表明，等离子体激发空气生成大量臭氧，大部分的臭氧在处污设备中是没有与VOCs 发生反应的。
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（2）空气氧浓度的影响1 n. M1 r6 U4 Y- e: K, V- O
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, t1 b7 B. t. e( @从以上图可知，等离子体对VOCs 的降解受废气中氧浓度影响比较大，同等电压下，废气中10% 的含氧量分别比0%、20% 的降解率高。
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" U# K- R! m {但是在实际处理过程中，废气的含氧量很难做到10% 的最佳比例，导致了等离子体技术处理设备对VOCs 的降解率达不到最佳效率，甚至会因为含氧量过高或过低，导致对VOCs 的降解率只有理论值70% 以下，不但达不到治理VOCs 的标准，生成的副产物对大气产生了更多污染。4 s; A: V. G) ~6 H
+ c1 o0 ` D$ z# Q0 |# j3）电压条件的影响
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从上图可知，不管废气中含氧量多少，增大等离子体的电压，生成臭氧量都会增加。虽然电压大，可以增大激发电弧的能量，从而加大对VOCs 的降解率，但是，同时电压越大产生的臭氧量越大。. U% ~4 y! \7 l/ j3 I+ L. ? \, R
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